一、預(yù)備作業(yè):
1. 堅持真空室內(nèi)清潔,單調(diào),必要時應(yīng)作清潔處理.
2. 承認抽氣體系,機組轉(zhuǎn)向,清潔,油量符合說明書規(guī)則﹒
3. 接通全部冷卻水.
4. 關(guān)閉全部閥門(如預(yù)熱松散泵,則前級閥不關(guān)閉).
5. 接通氣源.
二、蒸鍍作業(yè)預(yù)備:
1. 在龍架上裝好蒸騰塑料件.
2. 將龍架由小車推入真空室,使電極嚴密符合,嵌入離合器定位結(jié)實應(yīng)能旋.
3. 關(guān)緊大門及放氣閥.
三、抽氣-抽氣體系機組的作業(yè):
1. 提早1小時將松散泵加熱,此刻用機械泵作業(yè),下級閥翻開.
2. 機械泵抽氣:抵達加熱溫度,先關(guān)下閉閥門(加熱不間斷)翻開上閥,對真空容器粗抽.
3. 羅茨泵抽氣:當真空度抵達730mmHG(即負壓730mmHG)后方可建議羅茨泵,留心不得恣意提早建議羅茨泵,避免過載構(gòu)成損壞,羅茨泵作業(yè)后應(yīng)調(diào)查熱偶計真空規(guī)來了解真空度﹒
4. 松散泵抽氣﹕當真空所指真空度抵達2°t時,先翻開下閥,當真空所指真空度抵達3°t時,翻開主閥關(guān)上閥,使松散泵對真空室抽氣.
5. 當指針抵達7×10-2pa或以上數(shù)據(jù)可進行蒸鍍作業(yè),若繼續(xù)抽氣時,東莞真空電鍍度將不斷升高.
四、蒸鍍
當真空室己抵達所需真空深圳真空電鍍度后,可進行蒸鍍操作.
蒸騰電流之額外大值只允許在不逾越30秒的時間內(nèi)使用.
五、停機
在完成本作業(yè)日結(jié)束一次蒸鍍后,應(yīng)按下述過程停機.
1. 關(guān)緊大門,使容器在高真空下關(guān)閉SG-3真空計.
2. 關(guān)氣動高真空閥,關(guān)預(yù)抽上閥,關(guān)羅茨泵,關(guān)機散泵加熱﹒
3. 在松散泵間斷加熱1小時后關(guān)下閥及關(guān)機械泵.
4. 關(guān)冷卻水及氣壓.
5. 關(guān)總電源.
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